日本樫山工業kashiyama真空泵工作原理

Neodry15E日本樫山工業kashiyama真空泵工作原理：

真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。

日本樫山工業kashiyama真空泵產品詳細描述如下：

舊シリーズに比して、騒音値、軽量化が更に計られています。

*気密構造を採用し、信頼性を向上しています。?

省エネ化を計りました。（舊シリーズに比して消費電力20%低減を実現。（NeoDry15E））?

項目 NeoDry 15E NeoDry 30E NeoDry 36E 備考?

Z大排気速度 (L/min) 250 500 600

到達圧力 (Pa) ≦1.0

Z大吸気口圧力 大気圧

接続口徑 吸気口 NW25 NW40

排気口 NW25

KASHIYAMA工業自1946年創建以來，持續不斷拓展業務以應時代的需求，是秉著用戶至上的信念走過來的。特別

是在真空泵領域上，KASHIYAMA工業堅持不懈地研究,不斷地創造出xian進的高科技產品。

KASHIYAMA工業提供的真空泵及真空設備被應用在廣泛的高科技領域當中，其中包括半導體制造業和液晶顯示制

造行業，產品在半導體制造領域和xian進的高科技行業中已經榮獲了J高的評價與信賴。尤其是來自于半導體制造行

業的信賴，這是KASHIYAMA工業多年長期以來不斷開發進取真空技術的結果。

KASHIYAMA工業的干式真空泵系列已經成為半導體制造業與液晶顯示制造行業的標準設備。并在J高難度的制程

發揮上獲得了客戶的高度信賴與評價。除了干式真空泵以外，魯式及排氣組合式真空泵設備在廣泛的領域當中發揮

它的威力。

KASHIYAMA工業將本著致力于為顧客創造開發的精神，面對日趨復雜化的未來需求。

Neodry 15E日本樫山工業kashiyama真空泵特點

(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；

(2)轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速；

(3)泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；

(4)泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；

(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

結構

（1） 泵總體結構型式

真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。

立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運轉時穩定性差，故這種型式多用于小泵。

臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低，高速運轉時穩定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。

泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制，轉子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對復雜。

（2） 泵的傳動方式

真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的。主動軸通過聯軸器與電機聯接。在傳動結構布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉子軸的扭轉變形小，則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。這種傳動方式的缺點是：a.主動軸上有三個軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調整也不便；b.整體結構不勻稱，泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。