派克SMSQ2MICRO30102超高純束縛膜片減壓閥工作原理

PARKER派克膜片減壓閥產品描述：

UHP 超高純束縛膜片減壓閥 (壓力高達 250 psig) – SMSQ2Micro系列 | #45800745-1

SMSQ2MICRO30102

派克Veriflo產品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市場上*的微型超高純減壓閥。產品提供精密且穩定的壓力控制，提高了MFC（質量流量控制器）的性能，這對半導體生產的重復性和產量至關重要。產品同樣表現出優異的泄露完整性和底粒子生成，以減少對半導體應用中至關重要的的過程污染.

減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數流量需求變化提高出色響應。產品采用自動定心束縛膜片設計，提供穩定閥座密封和壓力調節。沒有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，這樣大限度減少粒子生成和截留，進一步提高工藝清潔度和吹掃性能.

PARKER超高純束縛膜片減壓閥工作原理：

SMSQ2Micro接液部件由特殊金屬制備，提供優異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體材料為內部電解拋光 Vericlean? 316L不銹鋼。Vericlean? 是派克公司的UHP超高純級不銹鋼。膜片和閥芯材料為哈氏合金 C-22?。這些材料與SMSQ2Micro系列設計特點相結合，使SMSQ2Micro系列具有強耐腐蝕性和更高循環壽命，入口壓力高達250. SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用與量子閥相同間距接口，符合SEMI模塊化接口規范.SMSQ2Micro系列減壓閥的內部（閥座）密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試，使用質譜儀以獲得在苛刻超高純應用中的性能和穩定性.

PARKER派克膜片減壓閥特點和優勢:

有C 和 W密封貼面安裝1-1/8

和1-1/2

閥體尺寸

極低粒子數

束縛膜片有效減少接液部件的彈簧，增加安全性

SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E 0.15 Cv

出口壓力范圍： -10 psig 到 60 psig

內漏率:≤ 5 x 10-8 scc/sec立方厘米/秒 He

外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He

5微英寸(Ra粗糙度)電解拋光表面處理

工作壓力范圍：-40°F 至 +150° F (-40°C 至 +66°C)

PARKER派克膜片減壓閥應用:

腐蝕性和特殊氣體

半導體工具

工具掛鉤

氣體柜

閥組箱 (VMB)